| 型番 OSK 97XL | 101-A | 101-B | 101-C | 101-D | 101-E |
|---|---|---|---|---|---|
| RFゼネレーター | 13.56MHz, 0～150W (連続調整 可能) |
13.56MHz, 0～600W (連続調整 可能) |
13.56MHz, 0～400W (連続調整 可能) |
13.56MHz, 0～1,000W 連続調整 可能) |
|
| 洗浄キャビン 有効容積 |
φ165xL 210mm 4.5Ｌ |
φ350xL 320mm 31Ｌ |
400 x400 x400mm 64Ｌ |
380 x380 x380mm 50Ｌ |
φ350 xL320mm 110Ｌ |
| キャビン材質 | 耐熱ガラス | スチール | |||
| 入力電源 | 100V /50Hz |
200V /50Hz |
|||
| 消費電力(W)＊ | 400 | 1,800 | 1,800 | 2,000 | 2,500 |
| 外寸*約(mm) | 500 x250 x300 |
800 x250 x500 |
800 x500 x500 |
600 x600 x1,400 |
780 x780 x1,660 |
| 重量*約(kg) | 25 | 70 | 85 | 300 | 400 |
※洗浄物によってアルゴン、窒素、酸素等のガスが必要となります。
| 排気速度 | 到達圧力（ガスバラスト閉） | 到達圧力（ガスバラスト開） |
|---|---|---|
| 16m3/h | 6×10-1Pa | 6×10-2Pa |
